用于吸附热板之静电吸盘

摘要

一种用于半导体工作件之吸盘，其于热基座上具有集成之电阻式加热件及静电双极吸附元件。此等集成之加热件及吸附元件可维持晶圆平坦性，以及维持工作件及吸盘间热气体之下方间隙的均匀性。于本发明一实施例中，层叠之Kapton晶圆加热器系连接至热表面顶端，而晶圆下方具有至少两个电压区隔绝于该加热器内，以于吸盘及晶圆间形成吸附力，而无须使晶圆接触导电体。此等电压区可藉由利用独立导电体以及藉由施加DC偏压于电压区(具有电阻式加热元件)上的方式建立。