用于将射频(RF)与直流(DC)能量耦合至一或多个公共电极的电容组件

摘要

本文提供耦接射频功率及直流功率至电极的电容组件及包含所述电容组件的基板支撑件的实施方式。在一些实施方式中，电容组件包含：第一导电板，以接收来自RF功率源的RF功率，第一导电板包含中心孔；至少一个电容，所述至少一个电容耦接至第一导电板并围绕中心孔；及第二导电板，第二导电板经由至少一个电容电性耦接至第一导电板，且第二导电板包含输入接嘴及至少一个输出接嘴，输入接嘴接收来自DC功率源的DC功率，至少一个输出接嘴将RF及DC功率耦接至电极。

主权项

一种用于将射频(RF)与直流(DC)功率耦合至电极的电容组件，所述电容组件包括：第一导电板，所述第一导电板用以接收来自RF功率源的RF功率，所述第一导电板包含中心孔；至少一个电容，所述至少一个电容耦接至所述第一导电板并围绕所述中心孔；及第二导电板，所述第二导电板经由所述至少一个电容耦接至所述第一导电板，所述第二导电板包含输入接嘴及至少一个输出接嘴，所述输入接嘴用以接收来自DC功率源的DC功率，所述至少一个输出接嘴用以将所述RF功率及所述DC功率耦合至电极。