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发明名称 SPECIMEN FIXING DEVICE FOR CHEMICAL ETCHING USE
摘要
申请公布号 JPH02206116(A) 申请公布日期 1990.08.15
申请号 JP19890026918 申请日期 1989.02.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 HIDAKA YOSHIHARU
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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