| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Führen eines Tisches (14) in der X-Y-Ebene, mit einem aus zwei Linearführungen (2, 3, 4, 5) bestehenden Kreuztisch (1) sowie einer Abstützplatte (9), auf welcher der Tisch (14) mittels Luftlagerung (15, 16) und einer Druckluftzuführung (17, 18) hierfür zwischen Tisch (14) und Abstützplatte (9) auf einem Luftpolster beweglich ist, Luftlagertisch (14), wobei an dem oberen beweglichen Teil (5) der oberen Linearführung (4, 5) des Kreuztisches (1) eine Koppelplatte (13) angeordnet ist, welche in X-Y-Richtung starr und in Z-Richtung verformbar gehaltert ist, und auf der Koppelplatte (13) eine sich in vertikaler Richtung erhebende Tragsäule (21) angeordnet ist, auf deren oberen Ende der Tisch (14) waagrecht sich befindet.
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