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发明名称 Polymer for top coating layer, top coating solution compositions and immersion lithography process using the same
摘要
申请公布号 KR100740611(B1) 申请公布日期 2007.07.18
申请号 KR20050096077 申请日期 2005.10.12
申请人 发明人
分类号 G03F7/004;G03F7/00;G03F7/20 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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