发明名称 |
真空感应镀锡装置 |
摘要 |
本实用新型涉及一种真空感应镀锡装置,包括真空蒸镀机,所述真空蒸镀机由真空系统,蒸发系统,薄膜卷绕系统,冷却系统和控制系统构成,其中,所述蒸发系统为蒸发舟,所述蒸发舟包括用于放置、熔化并蒸发锡金属的石墨坩埚,所述石墨坩埚外设置保温层,所述保温层外环绕设置有用于通过电感应磁场加热的线圈感应器,所述线圈感应器连接高频电源。使用本实用新型镀锡,能使镀锡薄膜的产量提高,生产效率提高,并保证较高的成品率,解决了一直以来镀锡薄膜不能大量生产的缺陷,使得镀锡薄膜的应用市场成为可能。 |
申请公布号 |
CN201037150Y |
申请公布日期 |
2008.03.19 |
申请号 |
CN200720031519.1 |
申请日期 |
2007.04.10 |
申请人 |
西安中意高频设备厂 |
发明人 |
王健;王越喜 |
分类号 |
C23C14/26(2006.01);C23C14/14(2006.01);C23C14/54(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/26(2006.01) |
代理机构 |
西安创知专利事务所 |
代理人 |
谭文琰 |
主权项 |
1.一种真空感应镀锡装置,包括真空蒸镀机,所述真空蒸镀机由真空系统,蒸发系统,薄膜卷绕系统,冷却系统和控制系统构成,其特征在于,所述蒸发系统为蒸发舟,所述蒸发舟包括用于放置、熔化并蒸发锡金属的石墨坩埚,所述石墨坩埚外设置保温层,所述保温层外环绕设置有用于通过电感应磁场加热的线圈感应器,所述线圈感应器连接高频电源。 |
地址 |
710043陕西省西安市东郊幸福商城49号 |