发明名称 真空感应镀锡装置
摘要 本实用新型涉及一种真空感应镀锡装置,包括真空蒸镀机,所述真空蒸镀机由真空系统,蒸发系统,薄膜卷绕系统,冷却系统和控制系统构成,其中,所述蒸发系统为蒸发舟,所述蒸发舟包括用于放置、熔化并蒸发锡金属的石墨坩埚,所述石墨坩埚外设置保温层,所述保温层外环绕设置有用于通过电感应磁场加热的线圈感应器,所述线圈感应器连接高频电源。使用本实用新型镀锡,能使镀锡薄膜的产量提高,生产效率提高,并保证较高的成品率,解决了一直以来镀锡薄膜不能大量生产的缺陷,使得镀锡薄膜的应用市场成为可能。
申请公布号 CN201037150Y 申请公布日期 2008.03.19
申请号 CN200720031519.1 申请日期 2007.04.10
申请人 西安中意高频设备厂 发明人 王健;王越喜
分类号 C23C14/26(2006.01);C23C14/14(2006.01);C23C14/54(2006.01) 主分类号 C23C14/26(2006.01)
代理机构 西安创知专利事务所 代理人 谭文琰
主权项 1.一种真空感应镀锡装置,包括真空蒸镀机,所述真空蒸镀机由真空系统,蒸发系统,薄膜卷绕系统,冷却系统和控制系统构成,其特征在于,所述蒸发系统为蒸发舟,所述蒸发舟包括用于放置、熔化并蒸发锡金属的石墨坩埚,所述石墨坩埚外设置保温层,所述保温层外环绕设置有用于通过电感应磁场加热的线圈感应器,所述线圈感应器连接高频电源。
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