| 摘要 |
본 발명의 대상은 플라즈마 발생 장치로서, 상기 플라즈마 발생 장치의 경우 플라즈마 공간 내에서 플라즈마 내 에너지 결합을 위한 적어도 하나의 유도성 장치(inductive device) 및 적어도 하나의 용량성 장치(capacitive device)가 제공되어 있다. 상기 적어도 하나의 유도성 장치 및 상기 적어도 하나의 용량성 장치는 서로 분리되어 상이한 주파수 발생기들에 의해, 혹은 공동의 주파수 발생기에 의해 에너지가 공급될 수 있다. |
