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发明名称 APPARATUS FOR FORMING FILM BY ION BEAM
摘要
申请公布号 EP0141417(B1) 申请公布日期 1992.03.11
申请号 EP19840113348 申请日期 1984.11.06
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 MIYAUCHI, TATEOKI;YAMAGUCHI, HIROSHI;HONGO, MIKIO;MIZUKOSHI, KATSURO;SHIMASE, AKIRA;SATOH, RYOHEI
分类号 C23C14/48;C23C14/22;H01J37/305;H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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