| 摘要 |
진공 용기 내에서 기판에 박막을 성막하기 위한 성막 장치는 회전 테이블과, 제1 처리 가스를 공급하는 제1 처리 가스 공급부와, 제2 처리 가스를 공급하는 가스 노즐과, 상기 가스 노즐을 덮도록 설치된 노즐 커버와, 분리 가스 공급부를 구비하고, 상기 노즐 커버는 천장 벽부와, 이 천장 벽부에 있어서의 상기 회전 테이블의 회전 방향 상류측 및 하류측의 각각의 테두리부로부터 하방측을 향해 연신되는 상류 측벽부 및 하류 측벽부를 구비하고, 상기 상류 측벽부에 있어서의 상기 가스 노즐측의 내면은 경사진 경사면으로서 형성되고, 상기 상류 측벽부에 있어서의 상기 가스 노즐측의 내면이 상기 회전 테이블의 표면과의 이루는 각도 θ1이, 상기 하류 측벽부에 있어서의 상기 가스 노즐측의 내면이 상기 회전 테이블의 표면과의 이루는 각도 θ2보다도 작아지도록 구성된다. |
