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发明名称 PROBE LOCATING ACTUATOR
摘要
申请公布号 JPH08322235(A) 申请公布日期 1996.12.03
申请号 JP19960114760 申请日期 1996.05.09
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 JIYANNCHIYAN RO;MITSUCHIERU SARUBEJIO;JIEEMUZU MAIKERU HAMONDO;JIEEMUZU EDOWAADO BOIETSUTE JIYUNIA;HANSUUJIYOOJI HOOSUTO KORAN
分类号 G01R31/26;G01R1/067;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;H02K41/03;(IPC1-7):H02K41/03 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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