| 发明名称 |
MACRO INSPECTION METHOD FOR WAFER AND AUTOMATIC WAFER MACRO INSPECTION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10144747(A) |
申请公布日期 |
1998.05.29 |
| 申请号 |
JP19960300231 |
申请日期 |
1996.11.12 |
| 申请人 |
MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YOSHITAKA NAOTO;KODAMA MASAMI |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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