| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM MULTILAYER SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0684907(A) |
申请公布日期 |
1994.03.25 |
| 申请号 |
JP19920236848 |
申请日期 |
1992.09.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
WATABE TAKAYOSHI;INOUE TAKASHI;OKA HITOSHI;TANAKA MINORU |
| 分类号 |
H01L23/52;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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