| 发明名称 |
CHEMICAL RAY-SENSITIVE POLYMER COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1130862(A) |
申请公布日期 |
1999.02.02 |
| 申请号 |
JP19980133393 |
申请日期 |
1998.05.15 |
| 申请人 |
TORAY IND INC |
发明人 |
YUMIBA TOMOYUKI;ISHIKAWA YOSHIHIRO;ASANO MASAYA |
| 分类号 |
G03F7/027;C08G73/10;C08L79/08;C09D179/08;G03F7/038;G03F7/075;(IPC1-7):G03F7/038 |
主分类号 |
G03F7/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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