发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03248524(A) 申请公布日期 1991.11.06
申请号 JP19900046331 申请日期 1990.02.27
申请人 NEC CORP 发明人 MORICHIKA YOSHIMITSU
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址