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发明名称 ELECTRONIC COMPONENT HANDLING DEVICE, AND METHOD FOR TEMPERATURE APPLICATION IN ELECTRONIC COMPONENT HANDLING DEVICE
摘要
申请公布号 EP1637892(B1) 申请公布日期 2007.12.12
申请号 EP20030736028 申请日期 2003.06.04
申请人 ADVANTEST CORPORATION 发明人 NAKAMURA, HIROTO
分类号 G01R31/28;G01R31/01;H01L21/00;H01L21/673 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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