MULTI-LEVEL GETTER STRUCTURE AND ENCAPSULATION STRUCTURE COMPRISING SUCH A MULTI-LEVEL GETTER STRUCTURE

摘要

Structure getter (100) comportant au moins :
- un support (102) ;
- une première couche (104) de matériau getter disposée sur le support ;
- une deuxième couche (106) de matériau getter telle que la première couche de matériau getter soit disposée entre le support et la deuxième couche de matériau getter;
- une première portion de matériau (108) reliant mécaniquement une première face (116) de la deuxième couche de matériau getter à une première face (114) de la première couche de matériau getter et formant au moins un premier espace (110) entre les premières faces des première et deuxième couches de matériau getter permettant une circulation de gaz entre les premières faces des première et deuxième couches de matériau getter ;
- une première ouverture (112) traversant au moins la deuxième couche de matériau getter et débouchant dans le premier espace.