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Vorrichtung (100; 200; 300; 400), welche eine Trägerplattform (68) umfasst, wobei die Trägerplattform (68) Folgendes umfasst: eine Grundplatte (34) mit N Löchern darin, wobei N eine Ganzzahl größer als 2 ist; N Wellen (38), wobei jede einzelne der N Wellen (38) sich durch eines der N Löcher erstreckt, einen Endteil hat, welcher aus einer Oberfläche der Grundplatte (34) auf einer Seite der Grundplatte (34) hervorsteht, und an einer bewegungsübertragenden Baueinheit (32A, 32B, 32C; 32A, 32B, 32C, 32D, 32E) befestigt ist, welche so konfiguriert ist, dass sie die N Wellen (38) auf einer entgegengesetzten Seite der Grundplatte (34) um ihre jeweiligen Achsen dreht; und N Trägeradapter (39), wobei jeder einzelne der N Trägeradapter (39) an jedem einzelnen der N Endteile befestigt ist und so konfiguriert ist, dass er einen Substratträger (72) halten kann; und wobei die Vorrichtung (100; 200; 300; 400) ein Transportbahnsystem (64, 16; 64, 16; 350) umfasst, welches so konfiguriert ist, dass es in die Trägerplattform (68) eingreift und die Trägerplattform (68) in einer Richtung senkrecht zu den Achsen der N Wellen transportiert. |
