| 摘要 |
분광 센서(1A)는, 제1 미러(31)와 제2 미러(41) 사이의 거리에 따라서 투과된 광을 대향 방향 D를 따라서 통과시키는 개구(50a)가 마련된 페브리 페로 간섭 필터(10)와, 개구(50a)를 통과한 광을 수광하는 수광부(3a)를 가지는 광검출기(3)와, 광검출기(3)가 실장된 배선 기판(2)과, 필터(10)와 배선 기판(2)의 사이에, 개구(50a) 내의 제1 공간(S1)과 연속하면서 또한 대향 방향 D에서 보았을 경우에 제1 공간(S1)을 포함하는 제2 공간(S2)이 형성되도록, 배선 기판(2)상에 있어서 필터(10)를 지지하는 복수의 스페이서(4)를 구비한다. 광검출기(3)는, 제2 공간(S2) 내에 배치되어 있다. 수광부(3a)는, 대향 방향 D에서 보았을 경우에 제2 공간(S2)에 있어서 제1 공간(S1)에 대응하는 영역 내에 배치되어 있다. |
