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发明名称 ARSENIC DIFFUSION AGENT AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02229427(A) 申请公布日期 1990.09.12
申请号 JP19890049504 申请日期 1989.03.01
申请人 FURUKAWA CO LTD;SHIN ETSU CHEM CO LTD 发明人 MURANAKA HIDEYUKI;USU YOSHIYUKI;SAITOU SHIGEAKI;MATSUEDA TOSHIHARU;KUBOTA YOSHIHIRO;HATANO ETSUO;IGUCHI MASAAKI
分类号 H01L21/225 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
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