曝光装置和象差校正方法

摘要

一种曝光装置，具有检测气压的气压计、驱动投影光学系统的透镜的透镜驱动单元、改变曝光光源的波长的光源波长驱动单元、和可以在光轴方向上驱动晶片台的晶片台驱动单元，可以通过透镜驱动单元、光源波长驱动单元和晶片台驱动单元校正由于气压变动产生的象差。这里，在该曝光装置的拍摄曝光中用透镜驱动单元和/或晶片台驱动单元校正象差，在非曝光时(拍摄之间)用光源波长驱动单元和/或透镜驱动单元和晶片台驱动单元校正象差。

主权项

1.一种曝光装置，其特征在于：它备有测量投影光学系统的附近或内部的气压的气压测量部件、包含通过驱动上述投影光学系统的透镜从而调整象差在内，根据上述气压测量部件所测量的气压而反复校正象差的第1校正部件、和包含通过变更曝光光源的波长从而调整象差在内，根据上述气压测量部件所测量的气压，以比由上述第1校正部件反复校正象差的时间间隔长的时间间隔校正象差的第2校正部件。