| 发明名称 |
MAGNETRON SPUTTERING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0959772(A) |
申请公布日期 |
1997.03.04 |
| 申请号 |
JP19950211714 |
申请日期 |
1995.08.21 |
| 申请人 |
NIPPON SHEET GLASS CO LTD |
发明人 |
NAKANISHI KOJI;YAMAOKA TOMONORI |
| 分类号 |
B01J19/08;C23C14/00;C23C14/08;C23C14/35;H01J37/34;H01L31/18;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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