| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SILICON NITRIDE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08107109(A) |
申请公布日期 |
1996.04.23 |
| 申请号 |
JP19940242551 |
申请日期 |
1994.10.06 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
YOSHIKAWA HIROKI;EJIMA MASAKI;YAMAMURA KAZUICHI;SHIMIZU YOSHIMASA;FUKUSHIMA CHIKAYASU;KOBAYASHI TOSHIMI |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/34;C23C14/54;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/318 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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