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发明名称 SEMICONDUCTOR COMPONENT HANDLING DEVICE HAVING AN ELECTROSTATIC DISSIPATING FILM
摘要
申请公布号 EP1470570(A4) 申请公布日期 2007.12.12
申请号 EP20020789916 申请日期 2002.11.26
申请人 ENTEGRIS, INC. 发明人 BHATT, SANJIV, M.;EGGUM, SHAWN, D.
分类号 B65D21/02;A47G19/08;B65D1/00;B65D1/24;B65D25/04;B65D25/10;B65D85/57;B65D85/86;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65D21/02
代理机构 代理人
主权项
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