ポリウレタン支持パッドの製造方法

摘要

本発明は、ポリウレタン樹脂およびＤＭＦ溶媒を含む樹脂組成物を湿式凝固する段階と、前記湿式凝固物を、酸触媒または塩基触媒を含む水溶液に浸漬する段階とを含む、ポリウレタン支持パッドの製造方法に関する。これによれば、製造されるパッドの内部に長くて大きい気孔を均一に形成して、低い硬度、優れた圧縮率などを示すようにし、パッドの全体領域でより均一な厚さ、圧力分布または張力分布などを示して、より均一で高効率の研磨を実現することのできるポリウレタン支持パッドが提供できる。【選択図】 図１