| 摘要 |
본 발명은 레이저빔(74a), 제 1 위치(78a)와 제 2 위치(78b) 사이에 레이저빔의 초점(78a; 78b)을 조절하기 위해 구성되고 위치되는 하나 이상의 렌즈(75a, 76a, 77a), 제 1 위치와 제 2 위치 사이의 평면에 기판을 고정하는 수단 및 상기 평면 또는 이에 평행한 평면 내 2차원에서 기판(71a; 71b)과 레이저빔(74a)의 상대적 위치를 이동하는 수단을 포함하며, 사용시, 상기 제 1 및 제 2 위치(78a; 78b)는 두 투명 전기 전도층(72a,b; 73a,b)의 노출된 표면과 동일 공간을 차지하거나 인접해 있는 투명 기판의 대향하는 표면들에 증착되는 두 투명 전기 전도층의 레이저 스크라이빙 장치를 제공한다. |
