在硼硅玻璃表面加工微槽阵列的方法

摘要

一种在硼硅玻璃表面加工微槽阵列的方法，属于先进制造技术领域。本发明采用在清洗干净的硼硅玻璃片表面溅射铬铜种子层，经过光刻，形成加工玻璃深槽阵列的掩膜窗口；将硼硅玻璃片置入腐蚀液去除窗口内的铬铜种子层，分析纯丙酮中超声去胶，采用电镀方法，首先电镀铜掩膜，然后在铜掩膜上再电镀金掩膜，腐蚀，连续刻蚀，从而在硼硅玻璃表面刻出底部光滑的微沟槽阵列。本发明简便易行，基于溅射和无掩膜微电镀工艺来制备湿法腐蚀硼硅玻璃的掩膜，从而达到减小针孔缺陷和钻蚀量的效果。

主权项

1.一种在硼硅玻璃表面加工微槽阵列的方法，其特征在于，包括步骤如下：(1)在清洗干净的硼硅玻璃片表面溅射铬/铜种子层；(2)在溅射了铬/铜种子层的硼硅玻璃片上旋涂上一层光刻胶，经过光刻，形成加工玻璃深槽阵列的掩膜窗口；(3)将开出掩膜窗口的硼硅玻璃片置入腐蚀液去除窗口内的铬/铜种子层；(4)将硼硅玻璃片置入分析纯丙酮中超声去胶；(5)采用电镀方法，在开出窗口的铬/铜种子层表面电镀金属掩膜，首先电镀铜掩膜，然后在铜掩膜上再电镀金掩膜；(6)将电镀好金属掩膜的硼硅玻璃片放入湿法腐蚀液中腐蚀，连续刻蚀，从而在硼硅玻璃表面刻出底部光滑、深度大于100微米的微沟槽阵列。