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Verfahren zur Regelung eines ersten Antriebsmotors (51) zumindest eines ersten Rotationskörpers (07; 52) einer Bearbeitungsmaschine für Substrat, wobei eine von einem Stellglied (56) erzeugte Stellgröße (57) einer Regelstrecke (58) zugeführt wird, die zumindest den ersten Antriebsmotor (51) des zumindest einen ersten Rotationskörpers (52) aufweist und wobei eine normierte Winkellage (59) des ersten Rotationskörpers (52) eine Regelgröße (59) darstellt und wobei eine Führungsgröße (61) einerseits und die Regelgröße (59) selbst oder eine zu der Regelgröße (59) proportionale Rückführgröße (62) andererseits einem Regler (63) zugeführt wird und wobei der Regler (63) eine Reglerausgangsgröße (64) erzeugt und wobei die Reglerausgangsgröße (64) durch Verrechnung mit einem eindeutigen winkelabhängigen Vorsteuerungssignal (66) verändert wird und wobei die veränderte Reglerausgangsgröße (64.1) dem Stellglied (56) zugeführt wird und wobei zumindest ein winkelabhängiges Vorgabesignal (68) in Abhängigkeit von einer normierten Winkellage (69) eines ersten Vorgabe-Vergleichszylinders (71) aus einem hinterlegten Datenbestand (72) abgeleitet wird und wobei aus dem winkelabhängigen Vorgabesignal (68) das eindeutige winkelabhängige Vorsteuerungssignal (66) abgeleitet wird. |
