| 摘要 |
Eine Suszeptoranordnung für einen Reaktor schließt ein Heizelement ein, das dazu konfiguriert ist, ein in dem Reaktor zu verwendendes Prozessgas zu erwärmen. Ebenfalls enthalten ist ein innerer Suszeptorabschnitt, welcher vom Heizelement radial nach innen angeordnet und dazu konfiguriert ist, darin befindliches Prozessgas entlang einem radial inneren Prozessgasweg zu leiten. Des Weiteren ist ein äußerer Suszeptorabschnitt enthalten, welcher vom Heizelement radial nach außen angeordnet und dazu konfiguriert ist, darin befindliches Prozessgas entlang einem radial äußeren Prozessgasweg zu leiten, wobei der radial innere Prozessgasweg und der radial äußere Prozessgasweg miteinander in Fluidverbindung stehen und im Wesentlichen von dem Heizelement fluidisch getrennt sind. |
