发明名称 PHOTOCHEMICAL DEPOSITION OF HIGH PURITY GOLD FILMS.
摘要 Des pellicules d'or de grande pureté sont déposées par procédé photochimique sur des substrats à partir du composé à teneur en or (CH3)2Au[CH(COCF3)2]. Une vapeur du composé organométallique à teneur en or, éventuellement mélangée avec un gaz porteur, est répandue sur la surface (26) du substrat (22), qui se trouve à une température entre 0°C et 180°C et de préférence à une température ambiante. Une photodissociation est induite par rayonnement ultraviolet, aussi longtemps que le composé organométallique est fortement absorbant entre environ 300 et 340 nanomètres. Aucun dépôt sensible de fragments organiques ne se produit sur la surface (26), la pellicule d'or déposée présentant ainsi une grande pureté.
申请公布号 EP0386225(A1) 申请公布日期 1990.09.12
申请号 EP19890910728 申请日期 1989.07.31
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 TUTT, LEE, W.;JENSEN, JOHN, E.
分类号 C23C16/18;C23C16/48;C30B25/10;H01L21/285 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
主权项
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