| 发明名称 |
Method for manufacturing a planar electrical interconnection utilizing isotropic deposition of conductive material. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0262719(B1) |
申请公布日期 |
1993.12.15 |
| 申请号 |
EP19870201755 |
申请日期 |
1987.09.14 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
BROADBENT, ELIOT KENT |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/90;H01L21/285 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
