| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING NONHOMOGENEOUS THIN FILM BY PLASMA CHEMICAL VAPOR PHASE GROWING PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0748673(A) |
申请公布日期 |
1995.02.21 |
| 申请号 |
JP19940084914 |
申请日期 |
1994.04.22 |
| 申请人 |
GOLD STAR CO LTD |
发明人 |
JIYON EFU WAGUNAA;SUN KIYOO RIMU;JIEE FUWA RIYUU |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C;C23C14/54;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/52;G02B6/13;(IPC1-7):C23C16/52 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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