| 发明名称 |
Control system for use with semiconductor device transporting and handling apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2317499(A) |
申请公布日期 |
1998.03.25 |
| 申请号 |
GB19970019763 |
申请日期 |
1997.09.18 |
| 申请人 |
* ADVANTEST CORPORATION |
发明人 |
HIROYUKI * TAKAHASHI;MASAAKI * OGAWA |
| 分类号 |
B65G43/08;B65G49/00;B65G49/07;G01R31/26;H05K13/02;H05K13/08;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/66 |
主分类号 |
B65G43/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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