发明名称 PRE-ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0598468(A) 申请公布日期 1993.04.20
申请号 JP19910287295 申请日期 1991.10.08
申请人 FUCHIGAMI MICRO:KK 发明人 TOGO TETSUO;INADA KOJI;NAKAO AKIO
分类号 C23F1/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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