| 发明名称 |
MECHANOCHEMICAL GRINDING WHEEL FOR GRINDING SI WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05285847(A) |
申请公布日期 |
1993.11.02 |
| 申请号 |
JP19920119547 |
申请日期 |
1992.04.14 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
YASUNAGA NOBUO;ABE KOZO;HATTA KENICHI |
| 分类号 |
H01L21/304;B24B37/00;B24D3/00;B24D3/28;(IPC1-7):B24D3/28 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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