Manufacturing method of shadow mask using hybrid processing

摘要

본 발명은 메탈 섀도우 마스크를 제조하는 방법에 관한 것으로서, 마스크패턴이 형성된 섀도우 마스크의 제조방법에 있어서, 베이스 상측에서 습식에칭을 수행하여 습식에칭패턴을 형성하는 습식에칭단계와, 상기 습식에칭패턴이 형성된 베이스 상측 또는 하측에서 레이저가공을 수행하여, 상기 습식에칭패턴에 연속하는 레이저가공패턴을 형성하는 레이저가공단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 복합 가공 방법을 이용한 섀도우 마스크의 제조방법 및 그에 의해 제조된 섀도우 마스크를 기술적 요지로 한다. 이에 의해 습식에칭 및 레이저가공을 복합적으로 이용함으로써, 기존의 레이저가공 공정으로 인한 생산성 저하의 문제를 해결하고, 습식에칭에 의한 고품질의 섀도우 마스크를 제공할 수 있는 효과가 있다.