发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04261046(A) 申请公布日期 1992.09.17
申请号 JP19910007746 申请日期 1991.01.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YOSHIMURA HIDEFUMI
分类号 H01L21/28;H01L21/306;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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