Verfahren zur Bildung einer Dünnschicht mit Gradient mittels Spraypyrolyse

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bildung einer Dünnschicht mit Gradient unter Verwendung einer Spraypyrolysetechnik. Das Verfahren umfasst das Bereitstellen eines Basissubstrats, das Zubereiten einer wässrigen Sprühlösung, indem mindestens zwei Vorläuferverbindungen vermischt werden, die mindestens zwei verschiedene Elemente enthalten, sowie das Sprühen der wässrigen Sprühlösung auf das Basissubstrat. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird das Verhältnis der Konzentration der mindestens zwei verschiedenen Elemente innerhalb der wässrigen Sprühlösung während der Durchführung des Verfahrens variiert. Auf diese Weise kann eine Dünnschicht gebildet werden, deren Elementzusammensetzung über ihre Schichtdicke hinweg einen Gradienten aufweist.