光学材料用永久膜の製造方法、有機ＥＬ表示装置の製造方法および液晶表示装置の製造方法

摘要

感光性樹脂組成物を露光して露光部を硬化し、その後に非露光部を除去し、残された硬化膜を永久膜とする光学材料用永久膜の製造方法であって、感光性樹脂組成物が、（Ａ）重合性モノマーと、（Ｂ）光重合開始剤と、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂と、（Ｄ）溶剤とを含有し、感光性樹脂組成物に、ｇ線、ｈ線、およびｉ線のうちから選ばれる活性放射線を、位相シフタ部における透過率０．１％以上２０％以下のハーフトーン位相差マスクを介して照射し樹脂を露光する光学材料用永久膜の製造方法。【選択図】なし