| 摘要 |
본 발명은 기판(3)에 코팅을 도포하기 위한 장치에 관한 것으로, 코팅액(2)이 상기 기판(3)에 제트로서 도포될 수 있도록 하는 계량 장치(5), 및 소정량의 용액(14)이 상기 계량 장치(5)의 전단부에 투여될 수 있도록 편심적으로 상기 계량 장치(5)의 전단부의 측면에 배치되는 용액 디스펜서(10)를 포함한다. 본 발명은 또한 전술한 청구항 중 어느 하나에 기재된 장치를 이용하여 기판(3)에 코팅을 도포하는 방법에 관한 것으로, 코팅액(2)이 도포되기 전에, 소정량의 용액(14)이 계량 장치(5)의 전단부로 가져가서, 용액(14)이 그곳에 위치한 코팅액(2)과 접촉하게 되고, 대기 기간 이후에, 다음으로 계량 장치(5)를 이용하여 코팅액(2)이 기판(3)에 도포된다. |
