| 发明名称 | 等离子加工设备 | ||
| 摘要 | 公开了一种等离子加工设备，其包括容纳要进行预定的等离子加工的基体且可以被排放至减小的压力的加工腔体；微波发生器，其产生用于形成等离子体的微波；导波管，其将微波从微波发生器传输到加工腔体；导波管/同轴管转换器，其连接到导波管的一端；同轴管，其形成微波从导波管-同轴管转换器传输到加工腔体所要通过的线路。同轴管的内部导体具有中空部分；和第一加工气体供应部分，其通过同轴管的内部导体的中空部分将加工气体提供给加工腔体。 | ||
| 申请公布号 | CN101647101A | 申请公布日期 | 2010.02.10 |
| 申请号 | CN200880010562.7 | 申请日期 | 2008.03.28 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 岩崎征英 |
| 分类号 | H01L21/3065(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/3065(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 田军锋;魏金霞 |
| 主权项 | 1.一种利用等离子加工基体的等离子加工设备，所述等离子加工设备包括：加工腔体，其容纳要进行预定的等离子加工的基体，且可以被排放至减小的压力；微波发生器，其产生用于形成等离子体的微波；导波管，其将微波从微波发生器传输到加工腔体；导波管/同轴管转换器，其连接到导波管的一端；同轴管，其形成微波从导波管-同轴管转换器传输到加工腔体所要通过的线路，其中，同轴管的内部导体具有中空部分；和第一加工气体供应部分，其通过同轴管的内部导体的中空部分将加工气体提供给加工腔体。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||