| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DIFFERENTIAL PRESSURE MEASURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0749281(A) |
申请公布日期 |
1995.02.21 |
| 申请号 |
JP19930194556 |
申请日期 |
1993.08.05 |
| 申请人 |
YOKOGAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
WATANABE TETSUYA;NAGAI KOJI;TSUKAMOTO HIDEO |
| 分类号 |
G01L7/08;G01L9/00;G01L13/00;G01L13/06;H01L21/306;H01L29/84;(IPC1-7):G01L13/06 |
主分类号 |
G01L7/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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