发明名称 IMPROVED POLISHING SLURRIES AND METHODS FOR THEIR USE
摘要
申请公布号 EP0868543(A4) 申请公布日期 1998.12.09
申请号 EP19960936459 申请日期 1996.10.04
申请人 RODEL, INC. 发明人 WANG, JIUN-FANG;SETHURAMAN, ANANTHA;WANG, HUEY-MING;COOK, LEE, MELBOURNE
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;C23F1/00;C23F3/00;H01L21/304;(IPC1-7):C23F1/00;C03C15/00 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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