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发明名称
IMPROVED POLISHING SLURRIES AND METHODS FOR THEIR USE
摘要
申请公布号
EP0868543(A4)
申请公布日期
1998.12.09
申请号
EP19960936459
申请日期
1996.10.04
申请人
RODEL, INC.
发明人
WANG, JIUN-FANG;SETHURAMAN, ANANTHA;WANG, HUEY-MING;COOK, LEE, MELBOURNE
分类号
B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;C23F1/00;C23F3/00;H01L21/304;(IPC1-7):C23F1/00;C03C15/00
主分类号
B24B37/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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