| 发明名称 | 基板保持工具、电子仪器制造方法、光掩膜的制造方法 | ||
| 摘要 | 一种基板保持工具，可保持尺寸不同的基板，使基板的搬运容易，防止掉落。在以让四边形基板的主表面沿着垂直方向的方式保持四边形基板(1)的基板保持工具中，设置有以给定角度倾斜的状态从下方支撑基板相邻两边的基板支撑部，所述基板支撑部具有从下方支撑长方形基板的长边的长边支撑区域、和从下方支撑所述长方形基板的短边的短边支撑区域，所述长边支撑区域相对于水平面的角度大于10°并且小于或等于30°，所述基板支撑部通过设在所述长边支撑区域和短边支撑区域上的多个相同的支撑部件支持所述基板的重量，并且所述基板支撑部能够保持具有比所述长边支撑区域长的长边或比所述短边支撑区域长的短边的基板。 | ||
| 申请公布号 | CN100343971C | 申请公布日期 | 2007.10.17 |
| 申请号 | CN200410032774.9 | 申请日期 | 2004.04.21 |
| 申请人 | HOYA株式会社 | 发明人 | 千绵刚 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01);G02F1/13(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 党晓林 |
| 主权项 | 1、基板保持工具，是以让四边形基板的主表面沿着垂直方向的方式保持四边形基板的基板保持工具，其特征是，包括在以给定角度倾斜的状态下从下方支持所述基板相邻两边的基板支撑部，所述基板支撑部具有从下方支撑长方形基板的长边的长边支撑区域、和从下方支撑所述长方形基板的短边的短边支撑区域，所述长边支撑区域相对于水平面的角度大于10°并且小于或等于30°，所述基板支撑部通过设在所述长边支撑区域和短边支撑区域上的多个相同的支撑部件支持所述基板的重量，并且所述基板支撑部能够保持具有比所述长边支撑区域长的长边或比所述短边支撑区域长的短边的基板。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||