| 发明名称 |
APPARAT UND VERFAHREN FÜR DIE MINIMIERUNG PARASITI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60038250(D1) |
申请公布日期 |
2008.04.17 |
| 申请号 |
DE20006038250 |
申请日期 |
2000.11.21 |
| 申请人 |
GENUS INC. |
发明人 |
SNEH, OFER;GALEWSKI, CARL |
| 分类号 |
H01L21/44;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/314;H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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