晶圆片固定机构

摘要

本实用新型晶圆片固定机构,包括晶圆盒盖、固定机构、晶舟和晶圆盒底盘;固定机构是为一连杆机构模组,装于晶圆盒盖的内侧;连杆机构包含有基座杆、滑杆、下连杆、前连杆、上连杆构成;当晶舟的内部置入晶圆片时,将晶圆盒盖罩合,晶圆盒内的固定机构的滑杆与晶圆盒底盘接触,在基座杆、下连杆、前连杆和滑杆的作用下,将固定机构的连杆全部撑开,即完成晶舟上的晶圆片对齐,并定位固定。

主权项

1．一种晶圆片固定机构，其结构主要包括有晶圆盒盖、固定机构、晶舟和晶圆盒底盘，其特征在于：固定机构，其是为一连杆机构模组，供晶圆片的定位及固定之用，装置于晶圆盒盖的内侧；连杆机构包含有基座杆、滑杆、下连杆、前连杆、上连杆构成；当晶舟的内部，置入晶圆片储存收藏时，此时将晶圆盒盖罩合，晶圆盒盖内的固定机构的滑杆与晶圆盒底盘接触，使滑杆于基座杆内向上移，推移出下连杆，使前连杆下端，受下连杆的作动，而倾斜推出；当滑杆与前连杆同样与晶圆盒底盘接触并受力推移，致使上连杆作动，将前连杆的上端部推移，待至固定机构的连杆全部撑开，即完成晶盘上的晶圆片对齐，并定位固定之。