发明名称 |
DICOPPER(I)OXALATE COMPLEXES FOR USE AS PRECURSOR SUBSTANCES IN METALLIC COPPER DEPOSITION |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1515976(A1) |
申请公布日期 |
2005.03.23 |
申请号 |
EP20030732539 |
申请日期 |
2003.06.05 |
申请人 |
MERCK PATENT GMBH |
发明人 |
KOEHLER, KATRIN;MEYER, FRANC |
分类号 |
C07C55/07;C07C51/41;C07F1/08;C07F7/08;C23C16/18;H05K3/10;(IPC1-7):C07F1/08 |
主分类号 |
C07C55/07 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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