长晶炉之温度调控装置

摘要

本发明之长晶炉设有一坩埚以供盛放长晶之原料；其中，该坩埚底部设有温度调控装置，其温度调控装置包含有测温元件以及温度调节器，该温度调节器系设于坩埚底部中心位置处，而测温元件则设于坩埚底部或温度调节器周缘处，温度调节器可依照测温元件所测得之坩锅底部温度分布，对坩埚作温度之调控，并有效控制坩埚原料之热对流状态，以形成较佳之长晶效果。

主权项

一种长晶炉之温度调控装置，系主要由一长晶炉中设有一坩埚以供盛放长晶之原料；其特征在于：该坩埚底部设有温度调控装置，其温度调控装置包含有耐热材料、第一、二测温元件以及温度调节器，其第一测温元件系设于坩埚底部或周缘之适当位置，该温度调节器系设于坩埚底部靠近中心位置处，而耐热材料以及第二测温元件则依序设于温度调节器下方，利用温度调节器对坩埚作温度之调控。