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发明名称
Signallesevorrichtung und Prüfvorrichtung
摘要
申请公布号
DE112005001466(T5)
申请公布日期
2007.05.03
申请号
DE200511001466
申请日期
2005.06.16
申请人
ADVANTEST CORP.
发明人
KIMURA, HIROKI
分类号
G01R31/26;H01L27/14;H01L27/148;H04N5/335;H04N5/369;H04N5/372;H04N5/376;H04N17/00
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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