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发明名称 Gas laser device for emission of ultraviolet radiation
摘要
申请公布号 EP1107401(B1) 申请公布日期 2005.02.23
申请号 EP20000126695 申请日期 2000.12.05
申请人 USHIODENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 KAKIZAKI, KOJI;ARAI, MOTOHIRO
分类号 H01S3/0975;H01S3/038;H01S3/0977;(IPC1-7):H01S3/038 主分类号 H01S3/0975
代理机构 代理人
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