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发明名称 PLANARIZATION METHOD FOR INTERLAYER INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH10340903(A) 申请公布日期 1998.12.22
申请号 JP19970148903 申请日期 1997.06.06
申请人 SONY CORP 发明人 TSUJI JUNICHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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